Chipek
Neon-újrahasznosítással csökkentené a chipgyárak sérülékenységét a Gigaphoton
A japán Gigaphoton olyan rendszert mutatott be, amely a chipgyártó lézerekben használt neon felét visszanyeri. A téma 2022 óta érzékeny: az ukrajnai háború megmutatta, mennyire sérülékeny a félvezetőipar neonellátása.
A Gigaphoton szerint egyetlen hTGM-egység évente akár 470 „kilotres” neonfogyasztást takaríthat meg. A mértékegység a beszámolóban nem egyértelmű, valószínűleg kilolitert jelent, de ezt nem erősítették meg. A neon globális felhasználásának mintegy 70 százaléka a litográfiához kell, főként DUV-folyamatokhoz, így a megtakarítás jelentős hatással lehet a teljes keresletre.
Egy háború tanulságai
A téma 2022 óta érzékeny. Korábban Ukrajna adta a félvezetőipar neonjának akár felét, az orosz invázió után azonban a nagy ukrán gyártók leállították az exportot. Az eset megmutatta, mennyire sérülékeny a neonellátás. Azóta Kína, Tajvan és Dél-Korea saját termelést és gyáron belüli visszanyerést épített ki, az Egyesült Államok pedig új légszeparáló egységeket telepít, ezek azonban az évtized végéig nem javítanak érdemben az ellátáson.
A visszanyerés a gyakorlatban is terjed. Az első neon-újrahasznosítók 2023 végén kaptak minősítést a Cymer ArF lézereihez, a nagy memóriagyártók közül pedig a Samsung és az SK Hynix vezette be elsőként a technológiát 2024-ben. A Gigaphoton rendszere ebbe a sorba illeszkedik, saját lézereihez kínálva hasonló megoldást.
Nem rekord, de fontos lépés
Az 50 százalék ugyanakkor nem rekord. A Cymer rendszere már 2015-ben elérte ezt az arányt, a Gigaphoton saját 2017-es tesztjei pedig 90 százalék feletti csúcsértéket valószínűsítettek. A Kanken Techno szeptember elején a SemiCon Taiwan kiállításon 90 százalék feletti visszanyerést ígérő berendezést mutatott be, ennek tanúsítása azonban még folyamatban van, így az adat egyelőre gyártói állítás.
Hosszabb távon a neonigény más okokból is csökkenhet. Az EUV, vagyis extrém ultraibolya litográfia, amelyet a legfejlettebb chipek gyártásánál használnak, nem igényel neont, és a DUV alternatívái, például a szilárdtestlézerek és a nanoimprint technológia is terjedhetnek. Addig azonban a DUV-gyártás marad a chipipar gerince, és a visszanyerés stabilabbá teheti az ellátási láncot.
A Gigaphoton eredeti közleményét a beszámoló nem ellenőrizte, és az sem ismert, mikor jelent meg a bejelentés, illetve mikortól lesz elérhető a hTGM. A fejlesztés mindenesetre azt mutatja, hogy a chipipar komolyan veszi a 2022-es lecke tanulságait, és igyekszik kevésbé kiszolgáltatottá válni a nyersanyagok ellátási zavaraival szemben.